AUTOMATIZED INTEGRATED SYSTEM FOR PLASMA SPUTTERING. In: 9 Congresso Brasileiro de Eletrônica de Potência, 2007, Blumenau. 9 Congresso Brasileiro de Eletrônica de Potência, 2007
AUTOMATIZED INTEGRATED SYSTEM FOR PLASMA SPUTTERING. In: 9 Congresso Brasileiro de Eletrônica de Potência, 2007, Blumenau. 9 Congresso Brasileiro de Eletrônica de Potência, 2007